VAC系列阀式裂解源为As材料蒸发专门设计，固态As在大容量坩埚内加热后产生As4束流，经过高温裂解区后形成反应活性高的As2小原子团簇，可有效提高材料利用效率，减少材料浪费。裂解源的阀门可实现束流瞬态变化与完全关闭的精确控制，另外阀门自带力矩反馈，可实现全自动零位校准。VAC裂解源可在正常工作温度下待机闲置，阀门关闭即可，不会消耗坩埚内的源材料。独特设计的扩散板结构可控制束流分布状态，提高束流均匀性。强烈建议使用三个独立电源，以便形成稳定的温度梯度，避免材料在阀门附近沉积堵塞。
| ● 高精度束流控制阀门 | ● 三温区独立控温，裂解区最高温可达1400℃ | ● 适用于大容量坩埚 |
| ● 温度稳定性优于±0.2℃ | ● 裂解区配备独立水冷套，水冷可单独拆卸 |
| 蒸发源型号 | VAC500 | VAC2000 | VAC7000 | VAC10000 | |
| 坩埚容积 (cc) | 500 | 2000 | 7000 | 10000 | |
| 安装法兰尺寸 | CF35 | CF63 | CF100 | CF200 | |
| 真空内长度 (mm) | 285 | 264.5 | 271 | 276.5 | |
| 真空内外径 (mm) | 36.5 | 60.1 | 62 | 108 | |
坩埚尺寸 (mm) | 直径 | 65 | 115 | 173 | 241 |
| 高度 | 135.7 | 182 | 300 | 203 | |
| 工作温度(℃) | 蒸发区350-400℃ / 裂解区600-1000℃ | ||||
最高除气 温度(℃) | 蒸发区 | 650 | |||
| 裂解区 | 1400 | 1200 | |||
| 温度稳定性 | ≤±0.2℃ | ||||
| 阀门驱动器 | 步进电机 | ||||
| 束流变化范围 | 2-3个数量级变化 | ||||
| 水冷套 | 蒸发区配备标准水冷套，裂解区水冷套可选配 | ||||
| 烘烤温度 | 250℃ | ||||
| 订购编码 | 3205010048 | 3205010100 | 3205010038 | 3205010183 | |
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