VCC系列腐蚀性裂解源，通常适用于Sb、Te、Mg、CdTe等腐蚀性材料蒸发。固态材料在大容量坩埚内加热后产生束流，经过高温裂解区后形成反应活性高的小分子束流，可有效提高材料利用效率，减少材料浪费。该裂解源采用专门设计的全热解氮化硼（PBN）坩埚与阀门结构，可有效避免材料腐蚀源炉。PBN阀门可精确控制束流开关，提供快速稳定束流，束流重复程度良好。另外，阀门易于拆卸，并可通过传导区实现轻松装料。独特设计的扩散板结构可控制束流分布状态，提高束流均匀性。
| ● 全PBN坩埚与阀门 | ● 束流重复性高 | ● 适用于大容量坩埚 |
| ● 温度稳定性优于±0.2℃ | ● 裂解区配备独立水冷套，水冷可单独拆卸 |
| 蒸发源型号 | VCC300 | VCC2000 | |
| 坩埚容积 (cc) | 300 | 2000 | |
| 安装法兰尺寸 | CF63 | CF150 | |
| 总长度 (mm) | 956 | 962.6 | |
| 真空内长度 (mm) | 342 | 350.2 | |
| 真空内外径 (mm) | 54.3 | 86 | |
坩埚尺寸 (mm) | 直径 | 36 | 35.9 |
| 高度 | 592.6 | 663.74 | |
| 最高除气 温度(℃) | 裂解区 | 1200 | |
| 传导区 | 1000 | 800 | |
| 蒸发区 | 800 | ||
常用工作 温度(℃) | 裂解区 | 1200 | |
| 传导区 | 600-1000 | 300-700 | |
| 蒸发区 | 200-600 | ||
| 温度稳定性 | ≤±0.2℃ | ||
| 驱动 | PBN材质 | ||
| 阀门驱动器 | 步进电机 | ||
| 束流变化范围 | 2-3个数量级变化 | ||
| 水冷套 | 蒸发区配备标准水冷套，裂解区水冷套可选配 | ||
| 烘烤温度 | 250℃ | ||
| 订购编码 | 3205010125 | 3205010043 | |
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