CBr4源

作为碳热裂解源的替代解决方案，CBr4源无需使用载气，可通过直接蒸发在砷化镓和铝镓砷等材料中实现深能级碳掺杂，非常适用掺杂精度要求高、重复性高的材料体系。可实现64种气体流量以满足不同工艺使用需求，其中气路控制面板及其配件均集成在特气柜中，放置在MBE系统附近即可。CBr4气罐采用水浴机进行加热，整个气路管道使用加热带加热，防止管道内温度降低造成的冷凝，导入器也通过弹簧发热圈进行加热。由于工艺过程中使用的气量较少，MBE腔室上不需额外配备泵组，但产生的废气通过耐受腐蚀气体泵体从酸排口排出。