SH-PG系列加热器采用PBN/PG/PBN三明治结构，其中热解石墨PG为加热层，热解氮化硼PBN作为保护和绝缘层。PG加热层化学性质稳定，耐受腐蚀，具备良好的耐热冲击性，可快速升降温，无加热变形及膜层脱落现象。加热区均使用高纯钽、钼及超高纯PG/PBN等材料，高温下放气量较小，不会向腔室中带来额外的污染，特别适用于超高真空环境。衬底旋转采用独特的耐高温磁耦合旋转驱动结构，烘烤过程中无需拆除磁铁，可保证衬底在生长温度下连续可靠旋转，无需进行维护。特殊设计的PG加热层分布，实现衬底表面均匀加热。
| ● 可快速升降温 | ● 最高工作温度可达1100℃ | ● 衬底可连续旋转(0-60RPM) |
| ● 全片温度均匀性优于±3℃ | ● 适用于不同尺寸的衬底 |
| 加热器型号 | SH600-PG | SH800-PG | SH800P-PG | SH1000-PG | |
| 气体负载 | MBE800 | MBE800 | MBE800P | SH1000 | |
| 加热盘尺寸(mm) | 106 | 131 | 192 | 290 | |
| 托盘尺寸(mm) | 100 | 126 | 185 | 270 | |
| 安装法兰 | CF250 | CF250 | CF300 | CF350 | |
| 加热丝数目 | 1 | 2 | |||
| 加热丝材质 | PBN / PG / PBN | ||||
| 加热方式 | 辐射加热 | ||||
| 热电偶 | C型 / W-Re 5%-26% (可选配K型) | ||||
| 常用旋转速度 | 0-40 RPM，最高转速60RPM | ||||
| 常用工作温度 | 800℃ | ||||
| 最高除气温度 | 1100℃ | ||||
| 温度稳定性 | ≤±0.2℃ | ||||
| 温度均匀性 | ≤±3℃ | ||||
| 烘烤温度 | 250℃ | ||||
| 订购编码 | 3205010088 | 3205010044 | 3205010186 | 3205010187 | |
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