HT系列高温源可提供1700~2000℃的高温来加热固态材料，使其达到Sc，Ti，等难熔金属的蒸发温度。加热区通常采用耐高温、低蒸气压材料，如钽、钨，可确保高温下不会带来杂质污染。采用自支撑的加热丝，可避免在高温区域使用绝缘材料。绝缘陶瓷材料如PBN，被严格限制在温度较低区域使用，防止材料高温分解放气。此外，坩埚可以选用耐高温金属或陶瓷材料，建议根据目标蒸发材料选用合适的坩埚材质，对于反应活性较高的材料，通常使用具有陶瓷内衬的复合式金属坩埚。
| ● 超高真空兼容 | ● 工作温度区间：500℃-2000℃ | ● 自支撑加热丝 |
| ● 与电子束蒸发源相比，低成本的解决方案 |
| 蒸发源型号 | HT26 | |
| 坩埚容积 (cc) | 26 | |
| 安装法兰尺寸 | CF63 (不含裂解区水冷) | |
| 真空内长度 (mm) | 336.5 | |
| 真空内外径 (mm) | 50.8 | |
坩埚尺寸 (mm) | 直径 | 25.4 |
| 高度 | 76.2 | |
| 坩埚材质 | PBN | |
| 坩埚形状 | 瓶状坩埚 | |
| 加热方式 | 螺旋丝辐射加热 | |
| 热电偶 | C型/W-Re 5%-26% | |
| 温度稳定性 | ≤±0.5℃ | |
| 工作温度 | 300-1350℃ | |
| 最高除气温度 | 2000℃ | |
| 烘烤温度 | 250℃ | |
| 订购编码 | 3100190068 | |
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