LT系列低温源专为高饱和蒸气压材料设计,适用于Cd,Mg,Zn,Te,Sr,Yb,Ca,CdTe,ZnTe,Bi,Pb等材料。低温源包含两个加热区及中间隔离区,其中底部坩埚与插入坩埚喷口之间的温度梯度可以通过上下温区的加热丝功率比例进行调节,中间隔离区可有效散热,避免上下温区的温度串扰。源炉配备两组K型热偶,分别测量坩埚底部和顶部的温度。顶部插入式坩埚采用PG镀层石墨坩埚,可最大程度确保束流空间分布均匀性,提高束流的稳定性。
● 装料容积大 | ● 束流稳定性高;均匀性优异;坩埚可重复使用 | ● 可靠性高,维护成本低 |
蒸发源型号 | LT27 | LT250 | |
坩埚容积 (cc) | 27 | 250 | |
安装法兰尺寸 | CF35 | CF100 | |
总长度 (mm) | 424.2 | 398.5 | |
真空内长度 (mm) | 282.1 | 245 | |
真空内外径 (mm) | 37.5 | 78 | |
坩埚尺寸 (mm) | 口部外径 | 36.8 | 77 |
口部内径 | 20.2 | 48.2 | |
高度 | 89.8 | 140.8 | |
坩埚材质 | 插入式坩埚喷口: PG镀层石墨坩埚 / 底部坩埚: PBN坩埚 | ||
坩埚形状 | 柱状坩埚 | ||
加热方式 | 辐射加热,PBN支撑钽片 | ||
热电偶 | 2×K型 | ||
温度稳定性 | ≤±0.2℃ | ||
工作温度 | 100-950℃ | ||
最高除气温度 | 上温区1050℃ / 下温区1100℃ | ||
烘烤温度 | 250℃ | ||
订购编码 | 3205010063 | 3205010096 |
LT低温源与Riber或Veeco MBE系统兼容信息请联系费勉仪器
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