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高亮度多气体真空紫外光源
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等离子技术
PLASMA TECHNOLOGY
公司研发的射频聚焦等离子激励技术，突破传统等离子激励所需的高压电极放电、大功率微波源等限制，使低温等离子技术在更多领域的应用变为现实。基于此技术开发的高亮度深紫外光源是组成高性能的光电子能谱仪、有机质谱仪、深紫外光刻等高端系统的关键核心部件。
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